본문 바로가기 주메뉴 바로가기
HOME

장비

home > 카탈로그 > 장비 > 반도체장비
진단
링크머신에서 전문 엔지니어가 진단한 산업기계입니다.

링크머신

TEL. 1544-7859

취득가 6억원 대비 판매가 10% 수준. 제조사를 통해 수리 및 서비스 가능.

Sputter System ( 스퍼터시스템)

판매완료
가격협의
202210160001
[제품 정보]
  • 제조사 : SNTEK
  • 모델명 : MSS 4000
  • 년식 : 2011년
  • 설비제원 : 첨부

  • Process/Transer/Loadlock Chamber & TM arm concept
    Matal Sputtering Process ( Ti, Cu & Au )
    Substrate : Max 320mm ( 6pcs Loading / 1 Cassette )
    Magnetron Sputtering Source : 8inch Tilt Gun 3set
    Substrate Rotation Speed : 5 ~20 rpm
    Heater : Sheath Heater ( Max Temp. 300℃ on Substrate )
    - Vacuum Pumping Unit
    Sputter Chamber : TMP + Dry
    Transfer Chamber : TMP + Dry
    Loadlock Chamber : TM's share
    Pressure Control Type : Down Stream ( Auto TH/V)
    Gas Supply Unit : MFC Control ( Ar )
    - Power Supply
    Main Chamber : DC Power(5kw) 3set
    Loadlock Chamber : RF Power(1kw) 1set
    Plasma Cleaning Source with RF Power at Loadlock System
    -PLC Based PC Control ( HMI, Semi-Automation Control )
    Auto Process with Process Recipe
    Data Save/Open & Logging Available
[판매 조건]
  • 이설설치비용 : 불포함(별도협의)
  • NEGO 가능여부 : 가능
  • 보증기간 : 없음
  • 세금계산서 : 가능
  • 시운전가능여부 :
[판매 정보]
  • 판매구분 : 기업
  • 판매자 : 김**
  • 휴대폰 : 0105406****
  • 보관위치 : 충남>천안시
  • 업체명 : 테**
  • 전화번호 : ****

퀵메뉴

  • 구매문의(무료)
  • 고객센터 1544-7859 link@linkmachine.co.kr 평일 : 10:00 ~18:00 점심 : 12:00 ~13:00 주말 · 공휴일 휴무
  • 서비스 상세 설명
  • 공유하기
    • facebook
    • Twitter
    • 카카오 스토리
    • blog
구매문의(무료)
원하시는 제품을 찾아드리고 견적을 제공해 드립니다.
서비스 상세 설명

공지사항

more

고객센터

1544-7859

평일 : 09:00 ~18:00
점심 : 12:00 ~13:00
주말 · 공휴일 휴무
맨위로