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무기 증착 챔버 BE-100PE / 반도체·디스플레이·태양광 적용 / 고진공 증착 장비

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70,000,000원( VAT 별도 ) 가격 제안하기

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조회수 : 27

[제품 정보]

제조사 : 글로벌테크노스(주)
모델명 : 무기 증착 챔버 BE-100PE
년식 : 2007년
설비제원 :

1. 제품 설명
반도체, 디스플레이(OLED), 태양광(CIGS, OPV) 및 광학 분야에 범용으로 활용 가능한 무기 증착 챔버 BE-100PE 판매합니다.

주요 특징 및 장점:

우수한 범용성: 태양광(CIGS/OPV) 연구 및 생산뿐만 아니라 반도체, 디스플레이, 광학 부품 등 무기 증착 공정 전반에 적용 가능합니다.

로드락(Load-Lock) 시스템 적용: 로드락 챔버가 장착되어 있어 챔버 진공 파괴 없이 연속 증착 공정을 효율적으로 진행할 수 있습니다.

안정적인 고진공: 10^-7 torr이하의 고진공 환경과 PID 제어를 통해 정밀하고 균일한 Thin-film 성막이 가능합니다.

2. 상세 사양 (카탈로그 기준)
제품 유형 (Type): Evaporation Chamber (진공 증착 챔버)

기판 크기 (Substrate Size): 100X100 \ 200X200mm 지원

기판 가열 (Substrate Heating): 최대 600C

증착 재료 (Evaporation Materials): Cu, In, Ga, Se (동시 증착 / Co-evaporation 가능)

증착 방식 (Evaporation Method):

Effusion Cell 5~100cc

균일도 (Uniformity): 5%미만 (200X200mm 기준)

동작 온도 (Operating Temp.): 최대 1,800C

진공 레벨 (Vacuum Level): 5X 10^-7 torr이하 고진공

제어 방식: PC & PLC 제어 시스템 (PID 온도 및 증착 속도 제어)

기타 구성: Load-lock 챔버 포함 (연속 증착 공정 가능), 기판 회전 및 가열 시스템

[판매 조건]

이설설치비용 : 불포함(별도협의)
NEGO 가능여부 : 협의가능
보증기간 : 없음
세금계산서 : 가능
시운전가능여부 : 가능

[판매 정보]

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